从7nm到5nm，半导体制程

从7nm到5nm，半导体制程

芯片的制造工艺常常用XXnm来表示，比如Intel最新的六代酷睿系列CPU就采用Intel自家的14nm++制造工艺。所谓的XXnm指的是集成电路的MOSFET晶体管栅极的宽度，也被称为栅长。栅长越短，则可以在相同尺寸的硅片上集成更多的晶体管。

目前，业内最重要的代工企业台积电、三星和GF（格罗方德），在半导体工艺的发展上越来越迅猛，10nm制程才刚刚应用一年半，7nm制程便已经好似近在眼前，上个月雷锋网刚刚还报道过下一代iPhone A12处理器将使用台积电7nm制程生产的消息。

当半导体工艺继续向前演进时，由于随着晶体管尺寸逐渐缩小至接近物理极限，在各种物理定律的束缚下，半导体工厂如同戴着镣铐跳舞，因此在几家厂商纷纷出现“异常状况”：本应属于整代工艺的16nm制程被台积电所用，Intel的14nm制程字面上却应该属于半代工艺的范畴。再接下来，几家则不约而同的选择了10nm->7nm->5nm的路线，整代和半代的区别自此成为历史。

2020年，半导体制程工艺实现了技术性跳跃，从7nm迈入了5nm，能够同台PK的玩家仅剩台积电和三星。对于5nm技术进展，台积电在4月16日的财报会议上表示，台积电5nm将于2020年下半年大规模量产，预计全年可贡献约10%的营收。而7nm与6nm将带来30%的营收。

另一边，三星也在加码投资部署5nm制程工艺，预计6月底5nm EUV生产线就能建设完毕，最快今年年底开始生产5nm。可以看到，今年的芯片制程工艺之争中，最令人瞩目的不是7nm，也不是6nm，而是5nm。

7nm与5nm差距

半导体制程技术从7nm迈入5nm，将为芯片性能及工艺效率等带来极大程度的提升。尺寸越小意味着在相同面积之内可以储存更多的晶体管，从而达到更快的运行速度，并降到能耗。

制程工艺的进步将会为芯片带来哪些属性的提升呢？5nm制程工艺目前还没有商用，我们不妨用10nm和7nm做个对比。以华为麒麟处理器来看，从麒麟970（台积电10nm制程工艺）到麒麟980（台积电7nm制程工艺），其晶体管数量从55亿上升至69亿，同比增长25.5%，这也导致其CPU性能提升50%、GPU性能提升100%、NPU性能也提升了100%。当然，制程工艺的提升除了会改变处理器的性能外，还会降低功耗、缩短产品研发周期等，这也是行业不断提升芯片制程工艺的原因所在。

按照全球IC晶圆厂技术演进路线来看，在2020年这个时间节点上，仅台积电和三星实现5nm量产。其中，格罗方德和联电基本已经放弃了7nm制程工艺的研发；英特尔目前还在研发7nm；中芯国际的7nm制程工艺将于2020年年底实现量产。

在对比台积电和三星两家5nm工艺方面，由于两家企业对制程工艺定义的标准不同，很难界定孰好孰坏。但根据此前双发公布的信息来看，他们5nm主要的对比对象是上一代的7nm工艺，我们不妨先来看看两家企业7nm技术的差异化。

从工艺数据方面来看，国际公认的半导体专家和IC Knowledge的创始人Scotten Jones 给出的对比如下：

基于此数据，Scotten Jones得出的结果是，这两家7nm工艺在晶体管密度上非常接近，但台积电的产能会高于三星。也就是说，三星第三代7nm工艺与台积电第二代7nm工艺相当，那么他们5nm工艺究竟如何呢？

三星暂时落后

三星电子高管在2020年3月份的股东大会上曾表示，三星与台积电在代工业务方面存在差距，但三星将利用新工艺的领先优势来发展代工业务。这也暗示着，三星即将量产的5nm工艺与台积电的存在着差距。

早在2019年4月16日，三星便宣布5nm FinFF工艺技术已开发完成，可以为用户提供样品，预计将在2020年下半年量产。

具体来看，三星曾透漏，5nm工艺将使用相同的7LPP晶体管SRAM并提供GR兼容性。5LPE与7LPP相比具有许多优势，具体取决于选择的迁移路径。通过增强晶体管的改进，三星声称在使用5LPE 7.5T库时其7LPP工艺的性能提高了10％。同时，三星还增加了单鳍器件低泄漏器件，它们可将功耗降低20%。

据韩国商业报报道，三星正加速在韩国华城建造的5nm工厂，预计6月份完成建设，最快年底可以生产5nm工艺，目前三星收到了高通的订单，以现在的时间线来推算，三星可以在年底量产高通X60 5G调制解调器芯片组。

除了高通外，谷歌也正式宣布，公司自研的SOC已经流片，将有望在Pixel系列手机上搭载。这颗芯片代号叫“Whitechapel”，搭载的是8核CPU，将采用三星5nm工艺制程。

另外，据韩国商业报报道，由于受疫情影响，荷兰ASML公司很难将设备出口，这给三星、台积电等在内的全球半导体厂商带来了负面影响。业内人士表示，荷兰ASML设备交付影响了三星、台积电这两家巨头的研发、生产进度，其中三星遭受的损失会更大。由于三星去年购买的EUV设备部分用于DRAM生产，导致量产5nm工艺所需的EUV设备数量不够，与台积电相比有较大差距。

台积电遥遥领先

在5nm晶体管密度方面，据台积电此前透漏，台积电5nm将继续使用荷兰ASML EUV光刻机，相比于第一代7nm晶体管密度可猛增80％(相比第二代则是增加50％)。

关于这一点，WikiChips也根据台积电一篇论文中的晶体管结构侧视图给出了分析结果，台积电5nm的栅极间距为48nm，金属间距则是30nm，鳍片间距25-26nm，单元高度约为180nm，照此计算，台积电5nm的晶体管密度将是每平方毫米1.713亿个。相比于初代7nm的每平方毫米9120万个，这一数字增加了足足88％，而台积电官方宣传的数字是84％。

相比初代7nm工艺，台积电曾透漏5nm将提供1.8倍的密度，实现15%-30%的性能提升，其中，5nm的HPC选项将提供最高达25%的性能提升。

在设备方面，台积电计划为5nm开设一座新的晶圆厂Fab 8，重新引入多台新光刻机，但是目前EUV光刻机的平均日常功率只有145W，部分可以持续几周做到250W，都不足如完全投入商用，预计2020年下半年才能达到300W，这与台积电5nm工艺量产规划相符。

在客户方面，台积电曾透漏，其5nm订单已经满载，客户包括苹果、华为海思、AMD、比特大陆等。据中国台湾经济日报报道，受疫情持续发酵影响，华为已经砍掉了部分台积电代工的麒麟1020处理器订单，而这部分5nm订单已被苹果填补。报道还指出，苹果还要求台积电在2020年第四季度追加1万片产能，和AMD等公司抢夺下半年5nm二代制程产能。

总结

具体来看，三星与台积电的5nm工艺在晶体管密度、性能提升、功耗、量产时间及规模方面都有很大的差距。但我们看到，5nm之后还有3nm甚至2nm，三星在3nm工艺的表现能否超越台积电，以及中芯国际是否能够赶上三星和台积电在制程工艺技术的步伐，值得期待！