MEMS微加工技术

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MEMS的微加工有两种方法,一种是多层平面加工技术,还有一种是基于SOI的体加工技术. (一)多层平面加工技术这种方法加工出来的结构有三层:作为主体的多晶硅层.作为暂时填充物的氧化物牺牲层以及多晶硅跟衬底之间的氮化硅绝缘层.在这种结构中,氮化硅覆盖整个衬底,在氮化硅之上的第一层多晶硅用于导电连接(Poly0),MEMS器件的可活动部件是第二层多晶硅(Poly1).(图一) (图一) 工艺的第一步就是在n型(100)方向的硅片表面生长几百纳米厚的低应力氮化硅层. 第二步,在氮化硅上生长第一层多晶…

MEMS开关

MEMS器件在射频比如无线通信上有很好的应用.RF MEMS谐振器和诱导器品质因子在微波上有大幅度提高.MEMS开关极大地改进了高频性能和降低了能耗.本篇概要介绍MEMS开关. 自从1979年彼特森(K. E. Petersen)提出微加工继电器以来,许多种类的MEMS开关被开发出来.随着微加工技术的发展,MEMS开关的价格因为材料成本的降低和使用寿命的延长而下降. MEMS开关是用微机械加工技术集成在普通硅片上的开关.它用在射频到毫米波(0.1到1000GHz)的通讯上.与传统半导体器件比如双…

MEMS--微机电系统

http://baike.baidu.com/view/95221.htm?fromtitle=MEMS&fromid=686299&type=search 微机电系统编辑您检索的MEMS,一般指微机电系统,其他释义请点击此处. 微机电系统是指可批量制作的,集微型机构.微型传感器.微型执行器以及信号处理和控制电路.直至接口.通信和电源等于一体的微型器件或系统. 目录 1系统概述 2系统概念 3丰富内涵 4简介 ▪ 特点 ▪ 优势▪ 发展史 5应用领域 6显著特点 ▪ 微型化▪ 批…

Micro LED巨量转移技术研究进展

近年来,Micro LED因其功耗低.响应快.寿命长.光效率高等特点,被视为继LCD.OLED之后的新一代显示面板技术.Micro LED的英文全名是Micro Light Emitting Diode,中文称作微发光二极体,也可以写作μLED,是将传统LED薄膜化.微小化和矩阵化,使像素点距离从毫米级降低至微米级别,并在一个芯片上高度集成的固体自发光显示技术[1].其与常规LED最大的不同在于尺寸,大小相当于人头发丝的1/10,体积达到了主流LED大小的1%,然而像素尺寸当前还未形成统一的定义…

基于蓝牙4.0（Bluetooth Low Energy）胎压监测方案设计

基于一种新的蓝牙技术——蓝牙4.0(Bluetooth Low Energy)新型的胎压监测系统(TPMS)的设计方案.鉴于蓝牙4.0(Bluetooth Low Energy)的低成本.低功耗.高稳定性等特点,适用于胎压监测系统,目前业界还没有出现类似的设计方案.本设计为直接式胎压监测系统,即在车辆轮胎上安装压力和温度传感器,通过蓝牙传输方式将胎压的信息传送给搭载蓝牙4.0的iPod.iPhone以及iPad,并在所安装的APP软件上显示实时数据.由此可实时监测车辆的胎压情况,并在胎压异常情况…

SLAM: VSLAM扫盲之旅

在<机器人手册> 第2卷,这本书里面,第23章讲述了:三维视觉和基于视觉的实时定位于地图重建.在第37章里面,讲述了同时定位与建图.指出了SLAM的三种基本方法. 一种是EKF的方法,但由于性能的约束,逐渐变得非主流:第二种基于图表示,成功使用稀疏非线性优化方法解决SLAM问题,成为主要方法:第三种也是成为粒子滤波器的非参数统计滤波技术,是在线SLAM的一种主流方法. VSLAM扫盲之旅作为三维重建-SLAM的入门资料汇总:VSLAM扫盲之旅 ICCV研讨会:实时SLAM的未来以及深度学习…

固态LiDAR，半固态混合LiDAR，机械LiDAR

固态LiDAR,半固态混合LiDAR,机械LiDAR 1. APD/SPAD 2轴MEMS扫描镜+ SPAD图像传感器在混合固态LiDAR中的应用 APD的工作模式分为线性模式和盖革模式两种.当APD的偏置电压低于其雪崩电压时,对入射光电子起到线性放大作用,这种工作状态称为线性模式.在线性模式下,反向电压越高,增益就越大.APD对输入的光电子进行等增益放大后形成连续电流,获得带有时间信息的激光连续回波信号.当偏置电压高于其雪崩电压时,APD增益迅速增加,此时单个光子吸收即可使探测器输出电流达到饱…