01、SECS的基本概念

最近做的项目跟半导体设备相关，需要学习SECS相关的内容，把自己的学习记录分享出来，如有不足甚至错误的地方，请不吝赐教，十分感谢！

文章内容基本都是SECS协议的内容和参考的资料，只不过是加了自己的理解部分，特此记录下。

1、SECS的定义

SECS的全称是：SEMI Equipment Communication Standard，翻译过来就是半导体设备通讯标准。

SECS是由半导体设备和材料国际（ Semiconductor Equipment and Materials International：SEMI）发布的标准，目的是为了统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。

SECS标准包括SECS-I、SECS-II、HSMS 和 GEM 四个标准。

接下来我们大概了解下四个标准是用来干什么的。

1.1 SECS-I （SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer）

SECS-I：属于传输协议标准，描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的，通过 RS-232通信来传送SECS-II 数据的规范。

1.2 SECS-II （SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content）

SECS-II：属于消息格式标准，定义了在设备与主机之间进行双向会话时所使用的消息格式。

1.3 HSMS （HIGH-SPEED SECS Message Services (HSMS) Generic Serives）

HSMS：属于传输协议标准，描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的，使用的传输媒质是以太网。通过以太网来传送SECS-II 数据的规范。

注意：SECS-I 是通过 RS232 通信来传输 SECS-II 数据，即通过串口来进行通信。

HSMS 是通过 以太网来传输 SECS-II 数据，一般是使用 TCP 来进行通信。

1.4 GEM （Generic Model For Communications And Control Of Manufacturing Equipment）

GEM： 属于设备功能标准，定义了通过通信链路所能看到的设备接口，指定了根据特定的消息设备所应该采取的对应的行为。

2、SECS的总体结构

SECS-I 和 HSMS 处于模型的底层，为半导体设备通信链路层标准。SECS-I 是基于RS-232的协议，HSMS为基于TCP/IP的协议。

SECS-II协议封装了 SECS-I 和 HSMS，在它们的基础上定义了半导体设备的通信格式。

GEM则在SECS-II的基础上定义了半导体生产制造过程中的交互行为。

参考资料：

SECS半导体设备通讯-1 SECS的基本概念