基于SILVACO ATLAS的a-IGZO薄膜晶体管二维器件仿真（08）

进展比较慢啊...

根据江南大学硕士论文IGZO/IZO双有源层薄膜晶体管特性的模拟研究：

其中，

gCBa：类受主导带尾态

gVBd：类施主价带尾态

gGd：类施主氧空位态

NDeep：价带尾深施主态

gta：E=Ec时，类受主能态密度

gtd：E=Ev时，类施主能态密度

Ea：导带尾斜率

Ed：价带尾斜率

gd：氧空位能态密度峰值

lamda:氧空位能态标准偏差

tao:氧空位能态平均能量

Ngd：E=Egd时，价带尾深施主态密度峰值

Wgd：价带尾深施主态标准偏差

Egd：价带尾深施主态平均能量

我又去找了下atlas用户手册的公式，如下：

对比就可以得到：

这毕业论文，写，错，公，式，了。

其实重点是我们可以得到具体的defect参数的意义。

再写一遍，如下：

gTA：类受主导带尾态

gTD：类施主价带尾态

gGA：类施主氧空位态

gDD：价带尾深施主态

NTA：E=Ec时，类受主能态密度

NTD：E=Ev时，类施主能态密度

WTA：导带尾斜率

WTD：价带尾斜率

NGA：氧空位能态密度峰值

EGA:氧空位能态标准偏差

WGA:氧空位能态平均能量

NGD：E=Egd时，价带尾深施主态密度峰值

WGD：价带尾深施主态标准偏差

EGD：价带尾深施主态平均能量

根据文献资料，提供的公式如下：

可得到参数间对应关系：

文章中提供的参数值如下：

即：

defect region=1 nta=5e18 wta=28 ega=0.13 nga=70 wga=45 egd=0.2 ngd=2.9e17 wgd=100

AT，AGS以及AGD含义暂时未知。

对比原定义：

defect region=1 nta=1e17 wta=0.013 wtd=0.12 ngd=6.5e14 wga=2 ntd=4.5e21 ngd=0 wgd=0

结果：

未完待续...